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射频等离子增强化学气相沉积系统()

射频等离子增强化学气相沉积系统

型 号:P600

技术指标:

可制备直径260mm内的各种形状的工件,采用射频源,频率为13.56MHz

主要功能及用途:

薄膜沉积,用于采用气相沉积的方法沉积Dlc等薄膜。

 

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