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激光扫描干涉仪()

激光扫描干涉仪

型 号:RENISHAW XL 80

技术指标:

1、系统精度:±0.5ppm

2、激光稳频精度:±0.05ppm

3、分辨率:0.001um

1、最大测量速度:4.0m/sec

2、最高采样频率:50KHz

主要功能、用 途:

1、检测速度从每小时几个微米到每分钟240

2、采样频率从静态到每秒50000个数据点

3、测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量。

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