韩森 部门:上海理工大学-光电信息与计算机工程学院 职称/职务:教授/高级工程师 电话号码: 个人邮箱:senhanemail@126.com 通讯地址:苏州工业园区仁爱路150号B519 邮政编码:
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个人介绍
        1982年长春光学精密机械学院,光学学士;
        1985年长春光学精密机械学院,光学硕士;
        1985年—1995年:中国长春光学精密机械学院讲师、助教;
        1991年—1997年:德国斯图加特大学技术光学研究所,客座研究员;
        1997年:德国斯图加特大学,获得光学工程博士学位;
        1997年—2009年:美国威易科仪器公司,首席科学家和工程项目经理、RTI技术总监、高级工程师;
        2003年—2008年:中国长春光学精密机械学院副教授,兼职教授;
        2003年–现在:美国霍尔国际有限责任公司,创始人和总经理;
        2004年-现在:美国亚利桑那大学光学科学院,兼职教授;
        2009年-现在:苏州慧利仪器有限责任公司,创始人和董事长(苏州工业园区领军人才孵化项目);
        2011年03月:苏州大学讲座教授,博士生导师;
        2012年07月:长春理工大学外聘博导;
        2013年05月-现在:上海理工大学教授,博士生导师;
研究方向
        主要从事光学干涉技术、纳米测量技术、精密光学仪器、透射波前检测技术以及自动控制等方面的研究。
导师类别
        光学工程/仪器科学与技术 硕士生导师/博士生导师
指导教学
        指导各类学生竞赛获国家级二等奖1项,三等奖1项。
科学研究
        项目1:在全球首台最大24英寸相移式干涉仪的研制中,负责旋转偏振光源设计、整机的准直和测试方案的制定及最后测试。中国成都精密光学工程研究中心和美国国家实验室均采用了该系统。在点火设施 (NIF)项目中,对八千多大光学元件的检验发挥了巨大作用。
        项目2:在超高精度1.06微米干涉仪的研制中,作为项目负责人主持系统整体设计、安装和调试,同美国加州理工大学 (Caltech)和美国国家计量院(NIST)一起研究超高精度测试参数标准的制定及测试方法。该干涉仪的研制是为检测地球引力波观测干涉仪(LIGO–全球化的科研项目)中光学件的测试。1998年10月通过最终测试后,加州理工大学最后的评语是:“威易科公司使用全面的技术技能、令使用者满意的明确承诺,成功地保证LIGO光学元件的性能达到了好于1纳米RMS的水平”。
        项目3:在WYKO RTI系列激光干涉仪的研制,作为技术总监负责新产品研究和开发、设计和制造、以及新测试方法的研究。成功地获得同类产品在全球范围内的最高测试精确度和最高重复性精度。为此WYKO RTI4100获美国 2000年度被称之为发明奥斯卡的第三十八届研发100奖。研发三表面高精度互检的新方法、用小口径干涉仪检测大尺寸平面技术。
        项目4:高分辨率通过透射介质进行表面轮廓纳米级测试的方法研究,已申请美国专利,其新产品TTM干涉物镜系列再度获美国 2005年度被称之为发明奥斯卡的第四十三届研发100奖。2005年10月20日作为该工程项目经理赴芝加哥出席盛大的授奖仪式,此技术是独家首创。作为该项目负责人,主持新技术的研究和开发、产品设计和制造。
        项目5:在高精度数字化激光干涉仪关键技术的研制中,作为项目负责人主持了关键技术的工程和工艺创新。高规格(多位院士)和国际化(中德英)的项目鉴定会结论(2019.10):“项目研究成果技术难度大,创新性强,取得了多项自主知识产权,部分产品填补国内空白,总体技术达到了国际先进水平,PV值测量等核心指标及相关技术达到国际领先水平。”
        项目6:在超高精度绝对面形计量检测关键技术及仪器的研制中,作为项目负责人主持了关键技术的研发和 仪器的创制。项目鉴定会结论(2023.10):“本项目技术复杂,难度很大,创新性很强,取得了多项自主知识产权,研制成功多款先进仪器,得到了广泛应用。总体技术达到了国际先进水平,核心技术指标PV值测量准确度和RMS测量重复性达到国际领先水平,机械相移最高载荷实现了重大突破。”
        近年来主持和参与国家重大科研仪器研制项目、科技部国家重点研究计划8项,主持或参与上海市科学技术委员会项目1项,主持或参与江苏省或苏州市项目2项等。
论文专利
        发表论文150余篇,其中SCI论文20余篇,专利50余项
        以下为代表性论文(*通讯作者):
        YanJun Wang, Sen Han*, Quanquan Wang, Yuhang Shen, Ying Yang, Chunfeng Xu, Measurement for compensating for self-weight deformation error of large-aperture flat under vertical support, Appl. Opt. 63, 7163-7169 (2024).
        Fang Wang, Xueyuan Li, Sen Han*, Broadband transmitted wavefront detection based on multi-wavelength laser interferometric system with the hysteresis nonlinearity compensation control system, J. Opt. 27 (2025) 025704 (14pp).
        Ying Yang, Sen Han*, Linghua Zhang, Yuhang Shen, Chunfeng Xu, Surface profile measurement and parameter analysis of silicon wafers in the upright state, Applied Optics 63, 2587-2593 (2024).
        以下为代表性专利:
        ZL2021102401374,森、李雪园、贾文昕等,一种检测用柱面镜头,发明专利.
        ZL2020110753351,王全召、张齐元、韩森等,一种基于单色系统的多限位标准球面镜头,发明专利.
        ZL2021102424018,韩森、贾文昕、张凌华,一种离轴椭圆柱面镜表面形貌的检测装置以及检测方法,发明专利.
荣誉奖励
        “超高精度大口径绝对面形光学标准计量关键技术及仪器”项目获2024年上海市科技进步一等奖,排名第一名;
        “450/100mm双光路一体式激光干涉仪”项目获2023年第二届“金燧奖”金奖,排名第一名;
        “超高精度相移式激光干涉仪”项目获2022年度首届“金燧奖”银奖,排名第一名;
        获2022年中国产学研合作创新与促进奖产学研合作创新奖,排名第一名;
        “数字化高精度激光干涉仪”项目获2021年中国光电博览奖金奖,排名第一名;
        “超高精度平面绝对计量动态检测技术”项目获2021年中国计量测试学会科学技术进步一等奖,排名第一名;
        “具有抗扰动功能(OHL)的超高精度平面绝对捡测技术”项目获2020年中国产学研合作创新与促进奖产学研合作创新成果一等奖,排名第一名;
        “兼顾国内外规程的高精度非接触平晶检定仪”项目获2015年中国光学工程学会科技创新奖三等奖,排名第一名;
        “高精度非接触平晶检定仪”项目获2016年中国机械工业科学技术奖三等奖,排名第一名;
学术兼职
        中国光学学会Fellow,国际光学工程学会(SPIE)、美国光学学会(OSA)和美国精密工程学会(ASPE)会员、中国光学工程学会常务理事、苏州国家质量基础专家指导委员会专家、全国光电测量标准化技术委员会生物医疗标准化工作组(TC487-03)副组长、全国光学和光子学标准化技术委员会委员、全国几何量工程参量计量技术委员会委员、国际光学工程学会(SPIE)大奖“Chandra S. Vikram Award in Optical Metrology”评审专家、科技部国家重点研发计划项目国家质量基础的共性技术研究和应用评审专家、国家教委长江特聘教授评审专家、国家重大科学仪器设备开发专项评审专家、苏州市姑苏领军人才评审专家、苏州工业园区科技领军人才评审专家、上海市高新技术产业化重点项目评审。国际光学主要学术期刊《Applied Optics》《Optics Express》《Optical Engineering》和《The Journal of Vacuum Science and Technology B》的审稿人、德国《物理》杂志编委、中国《纳米科技》杂志编委。
联系方式
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电话:0431-85582874(研究生秘书办公室)
电话:0431-85582875(中英合作办学办公室)
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